Mae cynhyrchu sylffwr purdeb uwch-uchel 6N (≥99.9999%) yn gofyn am ddistyllu aml-gam, amsugno dwfn, a hidlo uwch-lân i ddileu metelau hybrin, amhureddau organig, a gronynnau. Isod mae proses ar raddfa ddiwydiannol sy'n integreiddio distyllu gwactod, puro â chymorth microdon, a thechnolegau ôl-driniaeth manwl gywir.
I. Rhagdriniaeth Deunydd Crai a Dileu Amhureddau
1. Dewis Deunydd Crai a Rhagdriniaeth
- GofynionPurdeb sylffwr cychwynnol ≥99.9% (gradd 3N), cyfanswm amhureddau metel ≤500 ppm, cynnwys carbon organig ≤0.1%.
- Toddi â Chymorth Microdon:
Caiff sylffwr crai ei brosesu mewn adweithydd microdon (amledd 2.45 GHz, pŵer 10–15 kW) ar 140–150°C. Mae cylchdro deuol a achosir gan ficrodon yn sicrhau toddi cyflym wrth ddadelfennu amhureddau organig (e.e. cyfansoddion tar). Amser toddi: 30–45 munud; dyfnder treiddiad microdon: 10–15 cm - Golchi Dŵr wedi'i Ddad-ïoneiddio:
Cymysgir sylffwr tawdd â dŵr wedi'i ddad-ïoneiddio (gwrthedd ≥18 MΩ·cm) ar gymhareb màs o 1:0.3 mewn adweithydd wedi'i droi (120°C, pwysedd 2 bar) am 1 awr i gael gwared ar halwynau sy'n hydoddi mewn dŵr (e.e., amoniwm sylffad, sodiwm clorid). Caiff y cyfnod dyfrllyd ei ddargludo a'i ailddefnyddio am 2–3 cylch nes bod y dargludedd ≤5 μS/cm.
2. Amsugno a Hidlo Aml-Gam
- Amsugno Daear Diatomaceous/Carbon wedi'i actifadu:
Ychwanegir pridd diatomaceous (0.5–1%) a charbon wedi'i actifadu (0.2–0.5%) at sylffwr tawdd o dan amddiffyniad nitrogen (130°C, cymysgu am 2 awr) i amsugno cyfadeiladau metel a sylweddau organig gweddilliol. - Hidlo Ultra-Manwl:
Hidlo dau gam gan ddefnyddio hidlwyr sinter titaniwm (maint mandwll 0.1 μm) ar bwysedd system ≤0.5 MPa. Cyfrif gronynnau ar ôl hidlo: ≤10 gronyn/L (maint >0.5 μm).
II. Proses Distyllu Gwactod Aml-Gam
1. Distyllu Cynradd (Dileu Amhuredd Metel)
- OfferColofn distyllu cwarts purdeb uchel gyda phacio strwythuredig dur di-staen 316L (≥15 platiau damcaniaethol), gwactod ≤1 kPa.
- Paramedrau Gweithredol:
- Tymheredd Porthiant: 250–280°C (mae sylffwr yn berwi ar 444.6°C o dan bwysau amgylchynol; mae gwactod yn lleihau'r berwbwynt i 260–300°C).
- Cymhareb Adlif: 5:1–8:1; amrywiad tymheredd top colofn ≤±0.5°C.
- CynnyrchPurdeb sylffwr cyddwys ≥99.99% (gradd 4N), cyfanswm amhureddau metel (Fe, Cu, Ni) ≤1 ppm.
2. Distyllu Moleciwlaidd Eilaidd (Dileu Amhureddau Organig)
- OfferDistylydd moleciwlaidd llwybr byr gyda bwlch anweddu-cyddwysiad o 10–20 mm, tymheredd anweddu 300–320°C, gwactod ≤0.1 Pa.
- Gwahanu Amhuredd:
Mae organigion berwedig isel (e.e., thioethers, thioffen) yn cael eu anweddu a'u gwagio, tra bod amhureddau berwedig uchel (e.e., polyaromatics) yn aros mewn gweddillion oherwydd gwahaniaethau yn y llwybr rhydd moleciwlaidd. - CynnyrchPurdeb sylffwr ≥99.999% (gradd 5N), carbon organig ≤0.001%, cyfradd gweddillion <0.3%.
3. Mireinio Parth Trydyddol (Cyflawni Purdeb 6N)
- OfferMireinydd parth llorweddol gyda rheolaeth tymheredd aml-barth (±0.1°C), cyflymder teithio parth 1–3 mm/awr.
- Gwahanu:
Gan ddefnyddio cyfernodau gwahanu (K = C solid / C hylifK=Csolet/Chylif), mae parth 20–30 yn pasio metelau crynodedig (As, Sb) ar ben yr ingot. Caiff y 10–15% olaf o'r ingot sylffwr ei daflu.
III. Ôl-driniaeth a Ffurfio Ultra-Lân
1. Echdynnu Toddyddion Ultra-Bur
- Echdynnu Ether/Carbon Tetraclorid:
Cymysgir sylffwr ag ether gradd cromatograffig (cymhareb cyfaint o 1:0.5) o dan gymorth uwchsonig (40 kHz, 40°C) am 30 munud i gael gwared ar olion organig pegynol. - Adferiad Toddyddion:
Mae amsugno rhidyll moleciwlaidd a distyllu gwactod yn lleihau gweddillion toddydd i ≤0.1 ppm.
2. Uwchhidlo a Chyfnewid Ionau
- Uwch-hidlo Pilen PTFE:
Caiff sylffwr tawdd ei hidlo trwy bilenni PTFE 0.02 μm ar 160–180°C a phwysau ≤0.2 MPa. - Resinau Cyfnewid Ionau:
Mae resinau chelating (e.e., Amberlite IRC-748) yn tynnu ïonau metel lefel ppb (Cu²⁺, Fe³⁺) ar gyfraddau llif o 1–2 BV/awr.
3. Ffurfio Amgylchedd Ultra-Lân
- Atomization Nwy Anadweithiol:
Mewn ystafell lân Dosbarth 10, caiff sylffwr tawdd ei atomeiddio â nitrogen (pwysedd o 0.8–1.2 MPa) yn gronynnau sfferig 0.5–1 mm (lleithder <0.001%). - Pecynnu Gwactod:
Mae'r cynnyrch terfynol wedi'i selio dan wactod mewn ffilm gyfansawdd alwminiwm o dan argon ultra-pur (purdeb ≥99.9999%) i atal ocsideiddio.
IV. Paramedrau Proses Allweddol
Cam y Broses | Tymheredd (°C) | Pwysedd | Amser/Cyflymder | Offer Craidd |
Toddi Microdon | 140–150 | Amgylchynol | 30–45 munud | Adweithydd Microdon |
Golchi Dŵr wedi'i Ddad-ïoneiddio | 120 | 2 far | 1 awr/cylchred | Adweithydd Cymysg |
Distyllu Moleciwlaidd | 300–320 | ≤0.1 Pa | Parhaus | Distylydd Moleciwlaidd Llwybr Byr |
Mireinio Parth | 115–120 | Amgylchynol | 1–3 mm/awr | Mireinydd Parth Llorweddol |
Uwchhidlo PTFE | 160–180 | ≤0.2 MPa | llif 1–2 m³/awr | Hidlydd Tymheredd Uchel |
Atomeiddio Nitrogen | 160–180 | 0.8–1.2 MPa | Granwlau 0.5–1 mm | Tŵr Atomization |
V. Rheoli Ansawdd a Phrofi
- Dadansoddiad Amhuredd Olrhain:
- GD-MS (Sbectrometreg Màs Rhyddhau Tywynnu)Yn canfod metelau ar ≤0.01 ppb.
- Dadansoddwr TOCYn mesur carbon organig ≤0.001 ppm.
- Rheoli Maint Gronynnau:
Mae diffractiad laser (Mastersizer 3000) yn sicrhau gwyriad D50 ≤±0.05 mm. - Glendid Arwyneb:
Mae XPS (Spectrosgopeg Ffotoelectron Pelydr-X) yn cadarnhau trwch ocsid arwyneb ≤1 nm.
VI. Dylunio Diogelwch ac Amgylcheddol
- Atal Ffrwydradau:
Mae synwyryddion fflam is-goch a systemau llifogydd nitrogen yn cynnal lefelau ocsigen <3% - Rheoli Allyriadau:
- Nwyon AsidMae sgwrio NaOH dau gam (20% + 10%) yn tynnu ≥99.9% o H₂S/SO₂.
- VOCsMae rotor seolit + RTO (850°C) yn lleihau hydrocarbonau nad ydynt yn fethan i ≤10 mg/m³.
- Ailgylchu Gwastraff:
Mae gostyngiad tymheredd uchel (1200°C) yn adfer metelau; cynnwys sylffwr gweddilliol <0.1%.
VII. Metrigau Techno-Economaidd
- Defnydd Ynni: 800–1200 kWh o drydan a 2–3 tunnell o stêm fesul tunnell o sylffwr 6N.
- CynnyrchAdferiad sylffwr ≥85%, cyfradd gweddillion <1.5%.
- CostCost cynhyrchu ~120,000–180,000 CNY/tunnell; pris marchnad 250,000–350,000 CNY/tunnell (gradd lled-ddargludyddion).
Mae'r broses hon yn cynhyrchu sylffwr 6N ar gyfer ffotoresistau lled-ddargludyddion, swbstradau cyfansawdd III-V, a chymwysiadau uwch eraill. Mae monitro amser real (e.e., dadansoddiad elfennol LIBS) a graddnodi ystafell lân Dosbarth 1 ISO yn sicrhau ansawdd cyson.
Troednodiadau
- Cyfeirnod 2: Safonau Puro Sylffwr Diwydiannol
- Cyfeirnod 3: Technegau Hidlo Uwch mewn Peirianneg Gemegol
- Cyfeirnod 6: Llawlyfr Prosesu Deunyddiau Purdeb Uchel
- Cyfeirnod 8: Protocolau Cynhyrchu Cemegau Gradd Lled-ddargludyddion
- Cyfeirnod 5: Optimeiddio Distyllu Gwactod
Amser postio: Ebr-02-2025