Manylion y Broses Twf a Phuro Grisial Tellurium 7N gyda Pharamedrau Technegol

Mae proses puro telwriwm 7N yn cyfuno technolegau mireinio parth a chrisialu cyfeiriadol. Amlinellir manylion a pharamedrau allweddol y broses isod:

1. Proses Mireinio Parth
Dylunio Offer

Cychod toddi parth cylchol aml-haen: Diamedr 300–500 mm, uchder 50–80 mm, wedi'u gwneud o gwarts neu graffit purdeb uchel.
System wresogi: Coiliau gwrthiannol lled-gylchol gyda chywirdeb rheoli tymheredd o ±0.5°C a thymheredd gweithredu uchaf o 850°C.
Paramedrau Allweddol

Gwactod: ≤1 × 10⁻³ Pa drwyddo draw i atal ocsideiddio a halogiad.
Cyflymder teithio parth: 2–5 mm/awr (cylchdro unffordd drwy siafft yrru).
Graddiant tymheredd: 725±5°C ar flaen y parth tawdd, yn oeri i <500°C ar yr ymyl gefn.
Pasiadau: 10–15 cylch; effeithlonrwydd tynnu >99.9% ar gyfer amhureddau â chyfernodau gwahanu <0.1 (e.e., Cu, Pb).
2. Proses Grisialu Cyfeiriadol
Paratoi Toddi

Deunydd: Telwriwm 5N wedi'i buro trwy fireinio parth.
Amodau toddi: Wedi'i doddi o dan nwy Ar anadweithiol (purdeb ≥99.999%) ar 500–520°C gan ddefnyddio gwresogi anwythol amledd uchel.
Amddiffyniad rhag toddi: Gorchudd graffit purdeb uchel i atal anweddu; cynhelir dyfnder y pwll tawdd ar 80–120 mm.
Rheoli Crisialu

Cyfradd twf: 1–3 mm/awr gyda graddiant tymheredd fertigol o 30–50°C/cm.
System oeri: Sylfaen copr wedi'i hoeri â dŵr ar gyfer oeri gwaelod dan orfod; oeri ymbelydrol ar y brig.
Gwahanu amhureddau: Mae Fe, Ni, ac amhureddau eraill yn cael eu cyfoethogi ar ffiniau grawn ar ôl 3–5 cylch ail-doddi, gan leihau crynodiadau i lefelau ppb.
3. Metrigau Rheoli Ansawdd
Cyfeirnod Gwerth Safonol Paramedr
Purdeb terfynol ≥99.99999% (7N)
Cyfanswm yr amhureddau metelaidd ≤0.1 ppm
Cynnwys ocsigen ≤5 ppm
Gwyriad cyfeiriadedd crisial ≤2°
Gwrthiant (300 K) 0.1–0.3 Ω·cm
Manteision y Broses
Graddadwyedd: Mae cychod toddi parth cylchol aml-haen yn cynyddu capasiti swp 3–5× o'i gymharu â dyluniadau confensiynol.
Effeithlonrwydd: Mae rheolaeth gwactod a thermol manwl gywir yn galluogi cyfraddau tynnu amhureddau uchel.
Ansawdd crisial: Mae cyfraddau twf hynod o araf (<3 mm/awr) yn sicrhau dwysedd dadleoliad isel a chyfanrwydd un grisial.
Mae'r telwriwm 7N mireinio hwn yn hanfodol ar gyfer cymwysiadau uwch, gan gynnwys synwyryddion is-goch, celloedd solar ffilm denau CdTe, a swbstradau lled-ddargludyddion.

Cyfeiriadau:
yn dynodi data arbrofol o astudiaethau adolygedig gan gymheiriaid ar buro telwriwm.